点击次数:136次 更新时间:2017-03-16 11:05:53
基于MEMS工艺的热式质量流量技术;
重复性、复现性、稳定性强;
气体控制精度高,可快速响应;
大于1000:1的动态量程比;
在很大的测量范围内,也能保持良好的线性度;
结构紧凑,帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量;
模块化设计,为OEM客户量身定制。
紧凑的质量流量计配有RS-485全双工通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势
·紧凑的外形尺寸
·快速的稳定时间
·极佳的重复性和精度
·坚固的设计
·高量程比
·极佳的长期稳定性
它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用
参数 | 单位 | 典型值 |
流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
流量精度0-10% | % F.S | 0.2(250sccm,N2,4bara) |
流量精度10-100% | % O.R | 1(250sccm,N2,4bara) |
传感器响应时间 | ms | < 4 |
供电电压 | V | 24 |
模拟量输出 | V | 4…20 |
数字量输入输出 | RS-232 EIA |
Axetris质量流量技术被用于众多行业,广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
质谱分析 | 原子光谱分析 | |
热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |